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原位EBSD
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扫描电子显微镜SEM
电镜能谱一体机不仅能采用二次电子、背散射等成像模式进行不同放大倍数下微观形貌分析(尺寸、形态、分布等),还可对样品表面元素成分进行定性半定量分析。
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